Processing map to control the erosion of Y$_{2}$O$_{3}$ in fluorine based etching plasmas

Kindelmann, Moritz (Corresponding author); Weber, Moritz Lukas; Stamminger, Mark; Buschhaus, Rahel; Breuer, Uwe; Bram, Martin; Guillon, Olivier

Oxford [u.a.] : Wiley-Blackwell (2022)
Fachzeitschriftenartikel

In: Journal of the American Ceramic Society
Band: 105
Heft: 5
Seite(n)/Artikel-Nr.: 3498-3506

Einrichtungen

• Gemeinschaftslabor für Elektronenmikroskopie [025000]
• JARA-ENERGY [080011]
• Fachgruppe für Materialwissenschaft und Werkstofftechnik [520000]
• Lehrstuhl für Keramik und Institut für Gesteinshüttenkunde [524110]
• Lehrstuhl für Werkstoffsynthese der Energietechnik (FZ Jülich) [524510]